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蘇州天弘激光股份有限公司

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晶圓激光打標機

晶圓激光打標機

選用國際領先的工業化級風冷固態激光器作為光源,高速高精度的數字振鏡,輔以高精度的兩維直線電機事情臺及直驅旋轉平臺,專用CCD定位,憑證用戶需要,打標幅面可以從2英寸到12英寸
產物編號:
21-001
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激光器功率:
可選配
加工幅面:
可定制
產物形貌
手藝參數
應用領域
樣品展示

1、激光晶圓打標機是天弘為半導體行業推出的一款專業裝備

 

2、選用國際領先的工業化級風冷固態激光器作為光源,高速高精度的數字振鏡,輔以高精度的兩維直線電機事情臺及直驅旋轉平臺,專用CCD定位

 

3、憑證用戶需要,打標幅面可以從2英寸到12英寸

未找到響應參數組,請于后臺屬性模板中添加

 型號

TH-WLMS

 激光器

調Q半導體泵浦全固態激光器/RF-CO2

 激光物質

Nd:YVO4/CO2
 激光波長 355nm(紫外UV)/10.6um(CO2)/532nm(綠光)

 額定功率

1W @ 25KHZ

 直線電機事情臺定位精度

±2um

 直線電機事情臺重復精度

±1um

 直線電機事情臺有用行程

≤40um

 CCD自動定位精度

7um
 最小字符 0.1mm

 線寬

272mm×304mm

 

晶圓激光打標機是開發用來標志每個晶片上的個體代碼,以保證整個制程鏈的可追蹤性

晶圓激光打標

暫未實現,敬請期待
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